依照共性要害技能类和演示使用类，拟发动18个项目，组织国拨经费总概算约1.8亿元（其间，方向1.1~1.9为青年科学家项目，国拨总经费不超越4500万元）。为充分调动社会资源投入制作根底技能与要害部件的技能立异，在配套经费方面，共性要害技能类项目（非青年科学家项目），配套经费与国拨经费份额不低于1:1；演示使用类项目，配套经费与国拨经费份额不低于2:1。鼓舞产学研团队联合申报。

  研讨滚动轴承光滑功用检测原理与技能；研讨滚动轴承旋转组件温度检测原理与技能；研讨滚动轴承内部游隙及受力状况检测原理与技能；展开滚动轴承根底物理参数检测技能验证。

  研发出实在工况条件下轴承的油膜厚度与散布、旋转组件温度、轴承内部游隙及受力状况的检测设备；油膜厚度丈量规模0.1~300μm，分辩率优于0.1μm；作业条件下轴承内外套圈、保持架的温度丈量规模 RT~180℃，精度优于±0.5℃，丈量转速不低于30000r/min；运转状况下力丈量规模不小于轴承额外动载荷的30%，精度优于±1%FS；请求发明专利≥3项。

  研讨滚动轴承组件安装工艺对执役功用影响机理，滚动轴承装调工艺对转子体系执役功用影响机理；研讨滚动轴承组件/转子体系安装工艺参数优化办法与软件体系；研发针对滚动轴承组件/转子体系装调进程，具有精准检测、主动调整、自习惯压装的智能安装原理验证体系，进步轴承合套成功率。

  考虑滚动轴承装调工艺参数的轴承执役功用仿线%；安装工艺参数优化软件可完成轴承组件最优选配、装调载荷、装调相位、衔接载荷等参数精准核算；滚动轴承智能安装工艺设备安装进程力载荷检测与操控精度优于±0.5%FS； 位移丈量与调控分辩率优于0.2μm；请求发明专利≥3项。

  研讨液压元件冲突副的多规范多自由度动力学特性、固—液—热多场耦合建模理论；研讨冲突副空隙油膜要害参数原位测验原理；研讨高速重载冲突副功用退化规则和典型损害机理，树立界面累积损害和元件功用动态劣化点评模型；研讨新式冲突副调控延寿规划办法，并展开相关实验验证。

  2种以上液压元件的冲突副油膜功用剖析与动态演化仿线套，仿线%；液压元件冲突副油膜参数散布式测验配备1套，具有油膜厚度场、温度场、压力场等至少3种在线测验功用；针对航天航空等范畴，液压元件功率密度进步20%以上；请求发明专利≥2项。

  研讨液压阀口的冲蚀磨损及阀芯卡滞机理与演化规则；树立多维交融感知的液压阀功用阑珊与猜测模型；研讨电液操控阀执役进程的实时补偿技能，开发具有功用监测和毛病确诊功用的可编程集成操控器；展开相关实验验证。

  高牢靠智能型电液操控阀样机2种以上；操控精度0.1%，典型毛病检测类型≥5类，识别率≥80%；具有io-link总线通讯接口的方位轴控精度不低于1%fs；请求发明专利≥3项。

  研讨传动/感知/操控等深度交融的智能化齿轮传动体系，探究传动体系全生命周期内轮齿损害（如点蚀、磨损、胶合、断齿）、应力、温度、振荡等多维信息监测新办法；研讨齿轮传动体系多维信息的毛病自确诊及自习惯调控等智能运维机制；研讨齿轮传动体系执役功用及剩余寿数的智能猜测办法。

  齿轮传动体系智能感知及智能运维验证体系1台/套；具有传动体系内部应力、温度、振荡及轮齿损害等监测功用，监测精度优于5%；具有智能运维功用，毛病自确诊正确率不低于80%；请求发明专利≥3项。

  研讨根据二维资料的柔性应变传感器活络资料的功用调控办法和微观机理；研讨与微纳加工、印刷工艺兼容的应变活络资料、传感器结构、牢靠性及封装技能，以及柔性应变传感器阵列的加工办法；在工业或人体表皮进行长时刻接连监测验证。

  传感器应变系数≥500，拉伸性≥50%，最低检测限≤0.08%，循环稳定性≥50000次@5%应变，呼应时刻≤50ms； 阵列功用离散性≤5%；研发应变传感可穿戴集成体系原型，请求发明专利≥3项，拟定技能规范或规范≥1项。

  研讨高活络磁电阻传感器活络资料、原理和结构；研讨低噪声磁性多层膜结构资料；研讨磁电阻—微机电和磁电阻—超导一体化调制效应的影响机理；研讨高活络磁传感器芯片制作工艺；研讨传感器的噪声按捺、磁通会聚、三维集成、封装等要害技能；研讨传感器ASIC芯片规划；研发原型器材，并在工业现场实验验证。

  磁传感器活络度优于200mV/V/Oe，量程≤±100μT，功耗≤100mW，本底噪声≤1pT/Hz@1Hz；请求发明专利≥3项。

  研讨高活络MEMS三维电场传感器的活络机理和结构；研讨三重量电场耦合搅扰按捺办法及高精度丈量办法；研讨传感器制备工艺、抗外表电荷积累封装等要害技能；研讨传感器弱信号检测办法，研发出传感器原型，并在工业现场实验验证。

  传感器丈量规模0~100kV/m；单重量电场分辩力优于1V/m；轴间耦合度5%；准确度优于5%；传感器活络结构尺度≤12mm×12mm；请求发明专利≥3项，拟定技能规范或规范≥1项。

  研讨圆片级硅基MEMS厚金属膜工艺兼容性技能；研讨高质量厚金属膜资料力学功用匹配办法、工艺和原位测验技能；研讨硅基厚金属膜微结构开释技能，开发根据硅基MEMS厚金属膜工艺才能验证点评技能，展开工艺可用性验证。

  树立硅基厚金属膜制作根底工艺体系，圆片直径≥150mm，金属膜厚度≥5μm，厚度差错≤±3%；工艺验证器材数量≥2种；请求发明专利≥3项。

  研讨典型非路途移动机器的电液操控体系构型原 理与参数优选计划；研发集成化一体化的电液操控执行机构；开发硬件在环仿真和实验测验体系，研讨大局功率匹配和高效能量办理办法；研讨散布电液操控体系的高动态泵阀复合操控技能，并展开相关实验验证。

  散布式电液操控执行机构1套，使用至非路途移动 机器整机并较原有机型下降燃油耗费40%；散布式电液操控体系能效剖析与优化规划软件1套；总线项。

  研讨差压、表压和绝压高精度压力传感器芯片规划制作要害技能；研讨硅基MEMS加工应力操控办法与传感器高牢靠封/拼装技能；研讨宽温区温度补偿校准办法，完成根据自主开发压力活络芯片的系列化压力传感器在流程工业、配备工业等要点范畴使用验证。

  查核目标：差压传感器量程0.015MPa，非线%FS，迟滞0.05%FS，作业温度-40~85℃；表压传感器量程0.5MPa，非线%FS，作业温度-40~85℃；绝压传感器量程3MPa，准确度0.02%FS，作业温度-40~85℃；高温压力传感器量程2MPa，准确度0.25%FS，作业温度-55~250℃，呼应频率≥400kHz；压力变送器准确度0.05%FS；请求发明专利≥5项。1.12 工业机器人减速器状况监测传感器要害技能研讨内容：研讨薄膜应变传感器在机器人减速器部件外表上的原位集成工艺、规划制作及牢靠性技能；研讨习惯减速器内部环境的无线应变传感器规划制作及丈量技能；研讨MEMS薄膜声发射传感器规划制作及牢靠性技能；研发的传感器在谐波减速器和RV（旋转矢量）减速器使用验证。

  谐波减速器应变传感器活络度因子≥1.5，TCR（电阻温度系数）≤110ppm，线μm基底；RV减速器无线%；声发射传感器作业频率规模 40~400kHz，活络度优于60dB；请求发明专利≥3项。

  研讨开放式数控体系协议安全、暗码资源办理、数据安全等使用技能；研讨数控体系暗码使用、身份办理及办理渠道等要害技能；开发与数控体系交融的可信暗码操控模块；构建可信衡量、可信验证、信赖链传递办法等数控体系安全可信体系结构及规范规范；在航空航天、配备制作等范畴展开安全可信数控体系的使用验证。

  可信暗码模块契合GMT 0028-2014《暗码模块安全技能要求》，加/解密时延1ms；根据可信暗码模块的安全数控体系对程序、数据和功用具有不少于8个等级的存取权限；数据传输加解密吞吐率≥100mb/s；可信互操作协议支撑数控配备互联互通等协议≥3种；拟定规范规范≥3项。

  研讨内容：研讨智能网联工业操控安全一体化危险多重耦合机理、失效断定办法及侵略/毛病检测技能；研讨实时状况剖析、动态危险猜测和智能决议计划支撑技能；研讨设备安全增强的信息模型和数据接入办法；研发工业操控安全一体化增强设备，在严重设备、流程工业等展开使用验证。

  增强设备2套，支撑工业协议≥6种，具有要害安全目标在线剖析、动态适配和协同性验证功用；知识库和算法库≥5类；具有功用安全完整性SIL3、信息安全SL2的外表和操控设备≥3种；拟定规范规范≥2项。

  研讨工业互联网架构下典型生产进程和设备的进犯脆弱性机理及呼应机制；研讨内嵌工业特征的信息安全防护要害技能；开发智能型安全防护原型体系；建立测验验证渠道，并在石油、化工、建材等典型流程工业展开使用验证。

  可配备、可移植的智能型信息安全防护原型体系2套，支撑工业协议≥6种；功用安全完整性等级 SIL2，信息安全等级SL2；请求发明专利≥5项，拟定规范规范≥2项。

  研讨内容：研讨集成式多路电压传感器规划、高低压牢靠阻隔、高压切换开关及高精度模数转化技能；研讨宽量程电流传感器芯片规划及牢靠性技能；研讨高精度电机方位传感器薄膜资料工艺、规划及制作技能，开发信号调度电路；开发传感器及模块使用技能，在电动汽车等范畴演示使用。

  多路电压传感器最高检测电压≥1000V，电压检测精度优于0.5%，采样率≥1MHz，分辩率≥12 Bit；电流传感器直流量程±1000A，精度优于0.1%；电机方位传感器转速规模0~30000r/min，分辩率≥16 Bit（360度视点规模），体系延时≤2μs； 检测高压母线电流，功用安全等级ASIL B；传感器牢靠性水平满意不同电动汽车用户单位要求。

  研讨动力电池组单体电压与温度检测办法，高速高精度模数转化及多芯片扩展技能；研讨电池热失控的压力、VOC（挥发性有机化合物）、气溶胶等传感器规划制作技能；开发传感器及模块使用技能，在电动汽车等范畴演示使用。

  ；热失控监测传感器压力丈量规模50~250kPa，差错≤±1.5kPa，呼应速度≥100ms；VOC传感器检测气体成分包含：CO、CO2、C2H4、CH2O有机挥发物，丈量规模0~5000ppm，差错≤±15%；气溶胶传感器丈量规模200~5000μg/m3，差错≤±15%；整机安全：避免乘客仓起火ASIL D，避免人员触电ASIL D；传感器牢靠性水平满意不同用户单位要求。2.3 医疗印象配备要害传感器开发及演示使用研讨内容：研讨SiPM（硅基光电倍增管）辐射传感器规划制作；研讨磁栅方位传感器规划制作及抗辐照技能；研讨强磁场布景下高分辩磁场传感器规划制作技能；研讨传感器活络元件与相关抗辐照调度电路规划；研发的传感器在CT（断层扫描仪）、PET（正电子发射断层成像）、RT（印象引导放疗）或MR（磁共 振）等医疗印象配备演示使用。

  辐射传感器光子勘探功率≥50%，增益≥2.5×106， 单光子时刻分辩率100ps；磁栅方位传感器分辩力≤1μm，抗辐 照才能≥100000cgy；磁场传感器分辩率≤10μt@1.5t，活络度优于30nt/hz1/2；上述传感器至少在2类医疗印象配备上演示使用；传感器牢靠性水平满意不同用户单位要求。

  2023年“面向人工智能的高速载运设备无损检测监控技能世界研讨会暨研讨生无损检测技能学术立异论坛”告诉

  3i奖-“2022年度科学仪器职业售后服务十佳企业”获奖名单行将揭晓，敬请重视！